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    2023集成電路用硅基氣體研討會順利召開

    2023集成電路用硅基氣體研討會順利召開

    來源:
    ICMtia
    2023/08/30
    瀏覽量

    8月29日集成電路材料產業技術創新聯盟(以下簡稱“聯盟”)與洛陽中硅高科技有限公司(以下簡稱“中硅高科”)在洛陽共同舉辦了“2023集成電路用硅基氣體研討會”,洛陽市政府牛剛副市長、材料聯盟石瑛秘書長、中硅高科張合文董事長、萬燁總經理等出席了會議。29家晶圓制造、裝備、硅材料、硅基氣體、閥門、鋼瓶及氣體檢測企業代表70余人參加了會議。

    2023集成電路用硅基氣體研討會現場

    牛剛副市長在致辭中表示硅基氣體是集成電路行業的關鍵材料,洛陽市將持續推進相關產業的發展,期待通過此次會議,深化行業交流合作、促進產業良性發展,并預祝本次會議圓滿成功。

    牛剛副市長致辭現場

    張合文董事長對參會企業代表表示歡迎,他在致辭中提到硅基材料在業界應用最為廣泛,90%以上的半導體產品由硅基材料制成,硅基氣體滲透到半導體生產的各個環節,是超大規模集成電路、平面顯示器件、太陽能電池等電子工業不可或缺的原材料,被稱為半導體的血液。隨著半導體和微電子工業的飛速發展,對電子氣體產品的數量種類、質量要求及程度都提出了越來越高的要求。希望通過此次學術交流與技術探討,上下游認真剖析、深入交流、協同聯動、共謀發展,激發科技創新活力。

    張合文董事長致辭現場

    隨后,中硅高科萬燁總經理作了《以創新賦能產業升級,譜寫硅基材料產業發展新篇章》的報告,指出國內半導體材料國產化率總體還比較低,他介紹了在提升材料國產化替代過程中中硅高科在技術研發、質量標準、管理體系各方面所作出的努力,并特別分享了采用基因組工程的方式做產品研發的特有管理方法。

    萬燁總經理報告現場

    北方華創供應鏈工程技術中心總經理曹永友博士在《半導體潔凈制造及SEMI標準在氣體輸送系統應用建議》的報告中介紹了半導體行業現狀及路線圖,分享了半導體潔凈制造及標準應用案例,在氣體分離及純化技術、氣體輸送系統技術標準、全產業鏈配套建設、加快建設第三方檢測機構及推動標準落地等方面提出了產業鏈創新協同發展的建議。

    曹永友博士報告現場

    材料聯盟標準化專員王大方做了《標準鑄立品牌,創新引領發展》的報告,介紹了材料聯盟標委會、標準化工作的機制、已發布的氣體相關聯盟標準,對比了國標和團標的各項特點,并倡議相關企業積極參與聯盟標準工作,共同推進國內集成電路行業標準的建立。

     

    材料聯盟報告現場

    中國原子能工業有限公司產業主管范學振先生作了《集成電路閥門國產化進展和思考》的報告,就解決關鍵精密閥門短板的緊迫性,產品國產化進展情況,以及取得的突破進行了詳細說明;梳理了閥門用關鍵材料及攻關重點;他同時介紹了“材料聯盟集成電路用閥門材料工藝與應用創新聯合體”的工作機制及進展,并對閥門研發一體化平臺搭建、閥門相關標準建立等方面提出了思考方向。

    范學振先生報告現場

    在討論環節中,企業代表們圍繞硅基氣體的供應鏈、質量控制等議題進行了深入探討,重點就材料、設備及關鍵零部件等產業鏈各環節工藝協同整合,國產應用驗證推進;建立檢測標準,統一檢測方法;上下游工藝需求對標,重點問題攻關創新;加快產品庫建設、共享信息資源、加強政策引導,避免同質化競爭等方面進行了熱烈交流。

    當天下午,材料聯盟還舉行了硅基材料對接會,重點開展了硅材料和硅基氣體企業、電子氣體與閥門企業等的對接活動。為推動材料與原材料企業的協同創新,推進集成電路國產化縱深發展起到了積極作用。

    對接會現場

    同時,召開了標準討論會,材料聯盟標委會電子氣體組代表就《集成電路用四氯化鈦中雜質含量的測定電感耦合等離子體質譜法》的標準技術內容進行了討論與修訂。

    討論會現場

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